特殊氣體銷售
提供半導體、光電、LED、科研單位及高科技產業所需之高純度特殊氣體,協助客戶建立安全、穩定且符合製程需求的供氣方案。
TCS /10% CH4/Ar / N2O /SiCl4 / C2F6 / SiH4 / NH3 /NF3(4.6N)/C2F6 /NF3
5%PH3/N2 / 4%H2/N2 /TEOS /2%B2H6/N2 /32ppm B2H6/N2 /32ppm PH3/H2DCS /0.5%O2/He /BCl3 /50ppm PH3/H2 /1% PH3/Ar
服務特色
- 高純度特殊氣體供應
- 多元品牌代理
- 穩定供貨能力
- 客製化供氣規劃
- 專業技術支援
- 完善售後服務