設備製造

普氣純化系統

提供工業氣體純化設備，提高氣體純度，確保製程品質。

特色

• 降低污染物
• 延長設備壽命
• 穩定氣體品質
• 客製化設計
• 高效率過濾

特氣系統設備

依客戶需求設計製造特殊氣體供應設備。

設備包含：

• Gas Cabinet
• VMB
• Valve Box
• Gas Panel
• Gas Rack

特色

• 客製化設計
• 高潔淨製造
• 安全監控整合
• 高可靠性
• 符合SEMI標準

特殊氣體合成純化分裝系統
      CH3F 純化分裝系統(台灣實績)
      CHF3 純化分裝系統 (台灣實績)